减薄划片作业用去离子水电阻值不得低于10MΩ·cm，通入CO₂后，去离子水电阻值应控制在1.2±0.5MΩ·cm之间。

DAF的有效期为：5℃条件下储存6个月，25℃条件下在氮气柜中存放1个月。

判断题DAF的有效期为：5℃条件下储存6个月，25℃条件下在氮气柜中存放1个月。

减薄厚度不符是指圆片厚度不符合规定要求，厚度误差＞±10um。

判断题减薄厚度不符是指圆片厚度不符合规定要求，厚度误差＞±10um。

BBD的翻译为刀片破损检测装置。

判断题BBD的翻译为刀片破损检测装置。