问答题

简答题 什么是光刻?光刻的主要流程有哪些?

【参考答案】

光刻就是通过一系列生产步骤,将晶圆薄膜的特定部分去除的工艺。
流程有晶圆涂光刻胶、曝光、显影、烘干。