直拉单晶炉型式尽管不同，总的说来，主要由炉体、电气控制部分、（）、（）、（）五大部分组成。

为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，与之相对应的必然是石英坩埚（），直拉单晶炉设备（）。

填空题为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，与之相对应的必然是石英坩埚（），直拉单晶炉设备（）。

为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，确保器件参数的一致性，单晶的（）势在必行。

填空题为了提高直拉硅单晶生产中原材料利用率，降低生产成本，确保器件参数的一致性，单晶的（）势在必行。

（）仍是生产硅单晶的主要方法，它工艺成熟，便于控制（）和（），容易拉制大直径无位错单晶，尤其能制备10-4欧姆...

填空题（）仍是生产硅单晶的主要方法，它工艺成熟，便于控制（）和（），容易拉制大直径无位错单晶，尤其能制备10-4欧姆•厘米级特殊单晶。