问答题
（1）溅浆沉积：溅镀是利用高速的离子撞击固体靶材，使表面分子溅离并射到基材镀成一层薄膜，溅射离子的起始动能约在100eV......
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常用的真空泵浦有几种？适用的抽气范围为何？
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镀膜技术可区分为几类？
问答题镀膜技术可区分为几类？
请具体分析MGF2溅料产生的原因？对此有什么好的方法可以预防。
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