简答题 试说明氧化层在硅工艺中的四种主要用途及主要原因，并举例说明各种用途的主要目的。

列出氧化硅的五种主要物理参数，并说明实际中如何测试氧化层厚度。

问答题列出氧化硅的五种主要物理参数，并说明实际中如何测试氧化层厚度。

试说明热氧化反应为什么发生在Si—SiO2界面上，以及这种反应机制有何好处？

问答题试说明热氧化反应为什么发生在Si—SiO₂界面上，以及这种反应机制有何好处？

氧化工艺产生的SiO2为何种类型？并说明其结构对其强度和密度的影响。

问答题氧化工艺产生的SiO₂为何种类型？并说明其结构对其强度和密度的影响。