填空题
扫描电子束曝光（电子束线曝光）；投影电子束曝光（电子束面曝光）
在离子束加工中，离子束投射到材料表面产生的两种效应是（）和（）。
填空题在离子束加工中，离子束投射到材料表面产生的两种效应是（）和（）。
电解加工过程中常用的直流电源为（）和（）。
填空题电解加工过程中常用的直流电源为（）和（）。
电解加工过程中电解液可分为（）、（）和（）三大类。
填空题电解加工过程中电解液可分为（）、（）和（）三大类。
