单项选择题
A.LPCVD B.PECVD C.CVD D.PVD
物理气相沉积简称（）。A.LVDB.PEDC.CVDD.PVD
单项选择题物理气相沉积简称（）。
A.LVD B.PED C.CVD D.PVD
薄膜沉积的机构包括那些步骤（）。A.形成晶核B.晶粒成长C.晶粒凝结D.缝道填补E.沉积膜成长
多项选择题薄膜沉积的机构包括那些步骤（）。
A.形成晶核 B.晶粒成长 C.晶粒凝结 D.缝道填补 E.沉积膜成长
晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。A.粒子扩散B.从气体源通过强迫性的对流传送C.化学反应D.被表面吸...
多项选择题晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。
A.粒子扩散 B.从气体源通过强迫性的对流传送 C.化学反应 D.被表面吸附 E.静电吸引
