问答题
（1）在沉积温度下，反应物必须有足够高的蒸气压，要保证能以适当的速度被引入反应室（2）反应产物除了所需要的沉......
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简述CVD反应的基本类型？
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为什么射频辉光放电的击穿电压和维持放电的工作电压均降低？
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简述蒸发镀膜相比溅射镀膜工艺的特点？
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