坩埚涂层的主要成分是（），化学式是（）。

位错的类型包括（），（），（）。

填空题位错的类型包括（），（），（）。

头尾红区不良，造成头部红区不良主要为（）杂质；造成尾部红区不良主要为（）杂质。

填空题头尾红区不良，造成头部红区不良主要为（）杂质；造成尾部红区不良主要为（）杂质。

DSS炉在气体模式框中显示（）时，此时（）流量固定，（）自动调节保持设定压力。

填空题DSS炉在气体模式框中显示（）时，此时（）流量固定，（）自动调节保持设定压力。