问答题
一般采用多层薄膜叠加的栅绝缘膜，还有许多采用连续生长的办法。还有在两层绝缘膜之间加清洗的方法。
试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。
问答题试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。
试分析背沟道刻蚀型的5次光刻中过孔的工艺难点。
问答题试分析背沟道刻蚀型的5次光刻中过孔的工艺难点。
源漏电极很多工厂采用的复层材料Mo/Al/Mo，试分析上下层Mo的作用。
问答题源漏电极很多工厂采用的复层材料Mo/Al/Mo，试分析上下层Mo的作用。
