问答题

简答题为何在离子注入后，需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？

【参考答案】

①为恢复经离子注入后造成的芯片表面损伤；
②使注入离子扩散至适当的深度；
③使注入离子移动到适当的晶格位置。

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