硅片边缘匀胶后出现毛边异常，是因为EBR药液量不足。

在产品加工过程中，除了光刻工序外，其他工序是不允许返工的。

判断题在产品加工过程中，除了光刻工序外，其他工序是不允许返工的。

AL刻蚀从设备中出腔的时候会有光刻胶。

判断题AL刻蚀从设备中出腔的时候会有光刻胶。

干法刻蚀速率越快越好。

判断题干法刻蚀速率越快越好。