对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。

应用在真空中的各式材料包括（）。A.靶材B.纳米金属墨水C.不锈钢真空室D.玻璃观察窗

多项选择题应用在真空中的各式材料包括（）。

使用氦气检漏的原因是（）。A.体积小B.惰性气体C.无污染D.容易驱散

多项选择题使用氦气检漏的原因是（）。

UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？A.可调整排气速度B.可调节腔体真空度C.无需流量调节阀D....

多项选择题UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？