问答题
①：靶材物质 ②：电磁场 ③：底物 ④：一整套完整配备的镀膜设备
简述溅射的基本内容。
问答题简述溅射的基本内容。
薄膜的主要分析方法有哪些？基本原理是什么？
问答题薄膜的主要分析方法有哪些？基本原理是什么？
简述薄膜的主要缺陷类型及特点。
问答题简述薄膜的主要缺陷类型及特点。
