多项选择题

关于减薄环节绝对禁止的行为,描述正确的有哪些()。

A.晶圆在料盒(晶舟)中装反装斜
B.晶圆墨点厚度超过30μm
C.操作员可以更改非操作参数
D.打开设备防护罩开机减薄