问答题

简答题化学气相沉积法有哪些反应类型？该法对反应体系有什么要求？在热解反应中用金属烷基化物和金属烷基氧化物作为源物质时，得到的沉积层分别为什么物质？如何解释？

【参考答案】

1、反应类型：热分解反应；化学合成反应；化学输运反应。
2、要求：
1）反应物在气温下最好是气态，或......

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