问答题
（百万分之一），ppb（十亿分之一）a是原子数w是质量；P.pba是以原子个数的十亿分之一；P.......
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计算480KG硅锭在合格率为96%的条件下出材率。
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坩埚喷氮化硅在DSS运行中的作用是什么？
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TC1、TC2和TCOT的作用是什么？
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