名词解释
RF激活气体分子（等离子体），使其在低温（室温）下发生化学反应，淀积成膜。
LPCVD（低压CVD）
名词解释LPCVD（低压CVD）
APCVD（常压CVD）
名词解释APCVD（常压CVD）
化学气相淀积
名词解释化学气相淀积
