问答题
1）光刻电铸（LIGA）技术；2）半导体加工技术；3）集成电路（IC）技术；4）超微......
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简述微系统的基本特征和关键技术。
问答题简述微系统的基本特征和关键技术。
超精密加工的发展趋势如何？有哪些主要的技术？
问答题超精密加工的发展趋势如何？有哪些主要的技术？
简述电子束加工技术的原理和应用。
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