甲硅烷常温下为气体，室温下就容易分解。

化学提纯时，中间化合物提纯到所需要的纯度后，在后续的还原工艺要求不需要很高。

判断题化学提纯时，中间化合物提纯到所需要的纯度后，在后续的还原工艺要求不需要很高。

硅是自然界分布最广泛的元素之一，是介于金属和非金属之间的半金属。

判断题硅是自然界分布最广泛的元素之一，是介于金属和非金属之间的半金属。

改良西门子法是一个闭路循环系统，多晶硅生产中的各种无聊得到充分的利用，排出的废料极少。

判断题改良西门子法是一个闭路循环系统，多晶硅生产中的各种无聊得到充分的利用，排出的废料极少。