问答题

计算题

在半导体生产中,为了测定硅片上的二氧化硅薄膜的厚度,将薄膜一端做成劈尖状,如图所示,用波长λ=546.1nm的绿光从空气中垂直照射硅片,在垂直方向观测到二氧化硅劈尖上出现八条暗纹,第八条是劈尖与平行平面膜的交线M,若取二氧化硅的折射率n2=1.5,硅的折射率n3=3.4,
(1)二氧化硅薄膜的厚度是多少?
(2)劈尖的棱边N是明纹还是暗纹?为什么?

【参考答案】