填空题
溅射物理气相沉积
光刻的图形曝光方式有：接触式曝光、接近式曝光和（）曝光。
填空题光刻的图形曝光方式有：接触式曝光、接近式曝光和（）曝光。
现在，主流的掺杂技术是（）
填空题现在，主流的掺杂技术是（）
集成电路制造中最为重要的工序是（）
填空题集成电路制造中最为重要的工序是（）
