问答题
温度低，使用PR遮蔽层（扩散硬遮蔽层），非等向性掺杂轮廓，可独立控制掺杂浓度和结深，批量及单晶圆工艺（扩散为单晶圆工艺）
平均自由程
名词解释平均自由程
分解碰撞
名词解释分解碰撞
激发-松弛碰撞
名词解释激发-松弛碰撞
