清洗的目的是控制清洁度。

开机前COP结束后，≥4h未开机需要重新进行COP再开机。

判断题开机前COP结束后，≥4h未开机需要重新进行COP再开机。

COP应在CIP开始之后，开机之前连续进行，COP过程中禁止中断后无需重新开始。

判断题COP应在CIP开始之后，开机之前连续进行，COP过程中禁止中断后无需重新开始。

洁净区与室外的压差不应小于5Pa。

判断题洁净区与室外的压差不应小于5Pa。