问答题
（1）检查大小mask是否有发黑、短路的地方，如有，更换mask； （2）清理靶材边缘，清理溅镀仓。
7.0盘片干燥不好，由哪些因素造成的？如何解决？
问答题7.0盘片干燥不好，由哪些因素造成的？如何解决？
8.0UV灯不亮怎么办？
问答题8.0UV灯不亮怎么办？
8.0溅镀机触摸屏没溅镀界面不能进入，为什么？
问答题8.0溅镀机触摸屏没溅镀界面不能进入，为什么？
