填空题
加热器；保温系统；支持机构
常用氩气净化方法：（），（）和（）三种。
填空题常用氩气净化方法：（），（）和（）三种。
液态氩在通入单晶炉前要经过（），经过缓冲罐进入单晶炉，这样可以使气流稳定。
填空题液态氩在通入单晶炉前要经过（），经过缓冲罐进入单晶炉，这样可以使气流稳定。
直拉单晶炉拉制单晶过程中，一般用（）做保护气氛。
填空题直拉单晶炉拉制单晶过程中，一般用（）做保护气氛。
