简答题 例出典型的硅片湿法清洗顺序。

描述RCA清洗工艺。

问答题描述RCA清洗工艺。

解释水的去离子化。在什么电阻率级别下水被认为已经去离子化？

问答题解释水的去离子化。在什么电阻率级别下水被认为已经去离子化？

描述净化间的舞厅式布局。

问答题描述净化间的舞厅式布局。