名词解释
加热蒸发源，使原子或分子从蒸发源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（衬底）表面，凝结形成固态薄膜。
溅射镀膜
名词解释溅射镀膜
物理气相沉积
名词解释物理气相沉积
化学气相沉积
名词解释化学气相沉积
