问答题
LIGA技术是一种由半导体光刻工艺派生出来的采用光刻方法一次生产三维空间微机械构件的方法。技术机理是由深层X射线光刻、电......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
光刻技术
问答题光刻技术
简述微型机械加工技术的关键技术
问答题简述微型机械加工技术的关键技术
超精密加工装备的特点
问答题超精密加工装备的特点
