刻蚀机的性能提升对（）产业发展具有重要意义。

刻蚀机的刻蚀精度可以通过（）。A.提高控制系统精度B.优化刻蚀工艺C.选用高精度零部件D.以上都是

单项选择题刻蚀机的刻蚀精度可以通过（）。

刻蚀机的故障预警系统主要依据（）。A.设备运行参数B.设备使用年限C.操作人员经验D.以上都是

单项选择题刻蚀机的故障预警系统主要依据（）。

刻蚀机在微机电系统制造中的应用是（）。A.制作微结构B.沉积薄膜C.检测微缺陷D.封装微器件

单项选择题刻蚀机在微机电系统制造中的应用是（）。