等离子体增强化学汽相淀积的缩略语是（）

常压化学汽相淀积的缩略语是（）A.APCVDB.LPCVDC.PECVDD.LCVD

单项选择题常压化学汽相淀积的缩略语是（）

低压化学汽相淀积的缩略语是（）A.APCVDB.LPCVDC.PECVDD.LCVD

单项选择题低压化学汽相淀积的缩略语是（）

LPCVD的气压控制在（）范围。A.10~100torrB.1~100torrC.0.01~1torrD.0....

单项选择题LPCVD的气压控制在（）范围。