光栅式位移传感器的测量电路中应具有（）功能和（）功能。

变极距d型电容传感器的电容C与极距d呈（）比。

填空题变极距d型电容传感器的电容C与极距d呈（）比。

在应变式力传感器中，（）元件将力转变为应变。

填空题在应变式力传感器中，（）元件将力转变为应变。

电容式湿度传感器的敏感元件是（）。

填空题电容式湿度传感器的敏感元件是（）。