多项选择题
A.灵敏度校正B.检漏仪性能确认C.压力确认D.漏率检测
RF 电源适用的设备是()。A.CVDB.EtChingC.AshingD.Cleaning
多项选择题RF 电源适用的设备是()。
A.CVDB.EtChingC.AshingD.Cleaning
RF电源故障解析:同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常()?A.放电不稳定B.匹配不稳定C.Pr ...
多项选择题RF电源故障解析:同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常()?
A.放电不稳定B.匹配不稳定C.Pr 残存D.成膜慢
下列可适用于sputter 设备的电源都有()。A.RF 电源B.DC 电源C.MF 电源D.EB 电源
多项选择题下列可适用于sputter 设备的电源都有()。
A.RF 电源B.DC 电源C.MF 电源D.EB 电源