多晶铸锭过程中氧杂质主要来源（）。

M2硅锭生产判断熔化主要为（）耦丝。

填空题M2硅锭生产判断熔化主要为（）耦丝。

当前使用的氮化硅主要为（）晶相。

填空题当前使用的氮化硅主要为（）晶相。

刷边液的主要成分为（）；刷底液的主要成分为（）和（）。

填空题刷边液的主要成分为（）；刷底液的主要成分为（）和（）。