问答题
LPCVD可以应用于制作金属薄膜优势：①不需要昂贵的高真空泵；②台阶覆盖性好；......
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金属化的实现方法有几种？请论述真空溅射方法。
问答题金属化的实现方法有几种？请论述真空溅射方法。
VLSI对金属化的要求是什么？
问答题VLSI对金属化的要求是什么？
PECVD的机理？PECVD有何优势？
问答题PECVD的机理？PECVD有何优势？
