名词解释

驻波效应

【参考答案】

光线照射到光刻胶与晶圆的界面上会产生部分反射。反射光与入射光会叠加形成驻波，形成驻波效应。驻波效应影响光刻分辨率。后烘烤......

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集成电路工艺原理