问答题
（1）接口层原子之间须有强的化学键结，最好是有化合物的形成或化学吸附，理吸附是不够的（2）低的残存应力，这可......
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沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何？
问答题沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何？
良好的薄膜须具备哪些特性？影响的因素有哪些？
问答题良好的薄膜须具备哪些特性？影响的因素有哪些？
何为化学气相蒸镀（CVD）？主要的优缺点有哪些？
问答题何为化学气相蒸镀（CVD）？主要的优缺点有哪些？
