问答题

简答题 简述减薄操作中要注意哪些问题。

【参考答案】

圆片背面减薄工艺对表面的光洁度没有像正面抛光要求严格,它的难点是精确控制圆片的厚度、均匀度、平行度。想达到这一要求,除了......

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