名词解释
当电子和分子碰撞时，碰撞的能量比分子的化学键能量高，打破了化学键的自由基。叫分解碰撞。
激发-松弛碰撞
名词解释激发-松弛碰撞
离子化碰撞
名词解释离子化碰撞
简述半导体工艺中等离子体最重要的三种碰撞
问答题简述半导体工艺中等离子体最重要的三种碰撞
