问答题

简答题 列出4种曝光技术,并说明那种分辨率最高,说明各种曝光技术的优缺点。

【参考答案】

1、接触式曝光:分辨率较高,可在亚微米范围内。接触时的微粒会在晶圆上产生缺陷,光刻版的寿命也会减短。
2、接近......

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