问答题
1）温度高温区B区，生长速率对温度的变化不敏感，生长速率由气相质量输运控制，并且对反应室的几何形状和气流有很大的依赖性。......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？
问答题简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？
简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。
问答题简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。
CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率？
问答题CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率？
