超声波加工是利用工具端面的（）（16～25kHz），使工作液中的悬浮磨粒对工件表面冲击琢磨所实现的加工。

强迫振动的频率为（）的频率。

填空题强迫振动的频率为（）的频率。

表面层残余应力可通过（）来消除。

填空题表面层残余应力可通过（）来消除。

工艺系统的（）必然小于系统中刚性最差的部件的刚度。

填空题工艺系统的（）必然小于系统中刚性最差的部件的刚度。