问答题
说明用Cu替代Al作互连线的原因和多层金属布线应注意的问题。
问答题说明用Cu替代Al作互连线的原因和多层金属布线应注意的问题。
什么是合金接触？N型GaAs合金接触的常用合金是什么？
问答题什么是合金接触？N型GaAs合金接触的常用合金是什么？
金属化的目的是什么？谈谈Al-Si金属化的工艺条件和注意问题。
问答题金属化的目的是什么？谈谈Al-Si金属化的工艺条件和注意问题。
