问答题
干氧氧化：（优）结构致密，表面平整光亮；对杂质掩蔽能力强；钝化效果好；生长均匀性、重复性好；表面对光刻胶的粘附好，（缺）......
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简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？
问答题简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？
简述离子注入工艺中退火的主要作用？
问答题简述离子注入工艺中退火的主要作用？
扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？
问答题扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么？
