还原退火炉内，保护气体H2浓度越高，则基板表面氧化膜被还原的速度（）。

还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。A.微正压B.微负压C.与外界等压

单项选择题还原退火炉正常生产时，要保证炉内始终（）。

停炉时，氢含量低于（）时，方可将温度降低到700℃。A.2%B.4%C.6%D.10%

单项选择题停炉时，氢含量低于（）时，方可将温度降低到700℃。

1mm高水柱的压力，约为（）pa。A.1B.10C.100D.200

单项选择题1mm高水柱的压力，约为（）pa。