CVD TiN是TDMAT热分解来成膜的。

Long through PVD可以提升沉积效率。

判断题Long through PVD可以提升沉积效率。

较高的深宽比，容易产生空洞。

判断题较高的深宽比，容易产生空洞。

AlCu合金中Cu的作用是防止电迁移。

判断题AlCu合金中Cu的作用是防止电迁移。