在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。

通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。A.再分布B.等表面浓度扩散C.预淀积D.等总掺杂剂量扩散

单项选择题通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。

下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。A.NaB.BC.PD.As

单项选择题下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s，这些元素称为（）。A.活跃杂...

单项选择题He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm²/s，这些元素称为（）。