名词解释
杂质从衬底及基座中蒸发出来进入气相中继而再次掺入外延层中，也包括由于衬底基座被腐蚀而进入气相中进而掺入外延层中。
吸杂工艺
名词解释吸杂工艺
热施主效应
名词解释热施主效应
漩涡缺陷
名词解释漩涡缺陷
