问答题
目的：除去光刻胶内的残余溶剂、增加光刻胶的强度，并通过进一步的聚合作用改进光刻胶的刻蚀与离子注入的抵抗力。增强了光刻胶的......
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解释曝光后烘烤的目的。PEB（曝光后烘烤）烘烤过度和不足会产生什么问题？
问答题解释曝光后烘烤的目的。PEB（曝光后烘烤）烘烤过度和不足会产生什么问题？
软烘烤的目的是什么？列出烘烤过度和不足会产生什么后果？
问答题软烘烤的目的是什么？列出烘烤过度和不足会产生什么后果？
简述光刻工艺的8道工序
问答题简述光刻工艺的8道工序
