问答题

论述题 浅析纳米(结构)薄膜的制备方法。

【参考答案】

溶胶—溶胶法;电沉积法;高速超微粒子沉积法;等离子体化学气相沉积技术;溅射法;化学气相沉积法;惰性气体蒸发法。